二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9241282 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus是一種用於半導體制造過程的先進沈積反應器。它是為高通量和精確薄膜而設計的單室系統。反應堆設計用於電介質、金屬和其他材料的沈積。NOVELLUS Altus反應堆利用電子回旋共振（ECR）技術創造了它的等離子體，允許在更受控的環境中進行高溫蝕刻。等離子體的高度確保反應物暴露在高能量下，腔室采用獨特的多模操作，既能處理低溫又能處理高溫。單室設計也允許較小的晶圓尺寸，如光子應用中使用的。它能夠生產出高度均勻且跨晶片高度均勻的超凈塗層。晶圓溫度可以在沈積過程中進行調整，從而可以更好地控制最終結果。LAM RESEARCH Altus反應堆還采用智能過程控制，允許用戶在整個沈積過程中監控和控制過程參數。該方法可用於優化沈積，確保薄膜在晶片上的最佳均勻性。智能過程控制還確保過程完全可重復,具有均勻的薄膜.Altus是任何尋求提供高精度和重復性的高級沈積系統的人的理想選擇。其單室設計使其能夠同時處理低溫和高溫過程，其智能過程控制允許對均勻性進行更大程度的控制。它處理小晶片尺寸的能力使得它特別適合光子應用。