二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9270871 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus是一種先進的反應器，用於薄膜沈積。它是為精確、高性能的薄膜沈積工藝而設計的，能夠實現卓越的工藝穩定性和可重復性。這種類型的反應堆被設計用來沈積厚度從幾十埃到幾百埃不等的薄膜，用於廣泛的先進應用。NOVELLUS Altus反應堆采用ARC技術，代表先進的、可重復的腔室技術。該技術優化了室內的化學環境，提供了可重復、均勻的結果。它包括多區溫度控制、低壓前體和氣體沈積通量高度均勻分布等特點，為等離子體輔助化學氣相沈積（又稱PECVD）創造了理想的環境。使用LAM RESEARCH Altus反應器的主要優點是沈積過程的精確度和薄膜質量和厚度的一致結果。反應堆還具有高端數據采集系統，具有對壓力、溫度、氣體成分、沈積速率等工藝參數進行實時監測的選項，使用戶能夠優化其工藝。阿爾特斯反應堆是一種通用工具，可用於多種工業和應用。它的精確度和可重復性使其成為電子、能源和醫療工業的理想選擇，因為精確的薄膜沈積是至關重要的。其他應用包括MEMS、能量收集和可穿戴設備。LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus反應堆是一種可靠且具成本效益的工具，已被大量應用。其精確和可重復的結果已被用於從電子到醫療再到能源的許多行業。其堅固的設計和可靠的性能使其成為先進薄膜沈積工藝的絕佳選擇。