二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9270995 待售

LAM RESEARCHY/NOVELLUS Altus是一種用於制造半導體器件的感應耦合等離子體反應器。這項技術使用環形等離子體腔室來創建和維持等離子體。它有一個厚壁石英室，保持在不同的壓力和大氣。這個腔室充滿了一種氣體混合物，其中電子被激發到高能級並被電離，形成一個等離子體。然後，該等離子體用於將指定材料的薄膜層沈積在晶圓上。NOVELLUS Altus反應堆利用了幾種工藝氣體的混合物，其中包括的有氙氣、氧氣、氮氣、氫氣、六氟化硫，以及稀有氣體如氦氣和氙氣。這些氣體以每種氣體的預設流量引入腔室。外部等離子體發生器在室內產生高能等離子體，將其加熱到通常在500至1200攝氏度之間的溫度。這個等離子體可以激活和分解過程氣體的分子，然後在晶圓表面上反應。晶片有偏差以增加其表面的蝕刻反應和材料沈積。LAM RESEARCH Altus反應堆相對於標準等離子體反應堆的主要優點是對蝕刻工藝的控制和靈活性增強。控制器允許用戶通過控制每個工藝氣體的量、流速和光束功率來微調等離子體的效果。此外，它可以很容易的改變來創建不同類型的表面拓撲，像平面化和3D蝕刻，這是需要先進的芯片設計。最後，Altus反應堆是一種在半導體器件上沈積和蝕刻材料層的高度可靠和高效的工具。它還具有經濟效益，允許客戶利用其高級功能而不會破壞銀行。LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus的設計多才多藝,是任何半導體制造商的理想選擇。