二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9315037 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus是為介電膜應用而設計的先進熱真空反應器。它由真空室、輻射源、腔室壓力控制器、加熱器、質量流量控制器和氣體分配設備組成。真空室為沈積和沈積後過程提供了一個清潔的環境。輻射源為沈積過程創造了必要的條件，而腔室壓力控制器則調節腔室內的壓力。加熱器確保在沈積過程中保持適當的溫度，質量流控制器測量壓力，以確保有效使用氣體。氣體分配系統將氮氣和氫氣分布在整個腔室中進行統一的過程。該裝置還監測腔室的清洗過程，以確保沈積成功。NOVELLUS Altus利用循環時間和通過多個配方和程序的直通式優化。它在一種經濟高效的介電膜沈積解決方案中具有很高的可重復性。該機設計用於高質量的發光層薄膜沈積，同時最大限度地減少汙染和缺陷。此外,該工具的可選流程控制器還提供基於軟件的流程控制和數據管理。LAM RESEARCH Altus是一種可靠、堅固、用戶友好的資產,可為多種應用提供先進的熱真空沈積。