二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9251470 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2雙速續集（DSS）反應器是一種經過工業驗證的技術，設計用於制造等離子體蝕刻、化學氣相沈積和物理氣相沈積。DSS反應堆是一種多功能設備，將LAM和NOVELLUS技術的最佳特性結合到一個能夠執行所有沈積和蝕刻過程的單一平臺中。DSS提供了一個大蝕刻室，具有良好的均勻性，高通量和靈活性的氣體化學。NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel反應堆設計為提供卓越的等離子體蝕刻性能和控制。蝕刻過程具有很高的可重復性和均勻性，導致精確特征和狹窄的目標輪廓。先進的等離子體蝕刻系統提供高吞吐量和低汙染水平，允許更高的產量和更快的上市時間。DSS還包括一個化學氣相沈積（Chemical Vapor Deposition，CVD）單元，用於沈積矽、二氧化矽、金屬化合物等材料的薄膜，用於半導體器件制造。CVD機具有高溫運行能力，使團隊能夠沈積二氧化矽、金剛石狀碳等硬質材料。該工具提供了卓越的均勻性和減少汙染的高產率。此外，LAM RESEARCH Concept 2雙速續集反應堆提供物理氣相沈積（PVD）工藝。PVD可用於沈積金屬薄膜，用於接觸金屬、金屬互連和其他電氣元件。PVD資產具有很高的可靠性和可重復性，具有極好的附著力和沈積均勻性，產生的顆粒極少。Concept 2 Dual Speed Sequel反應堆提供了令人印象深刻的功能集,包括先進的氣體化學、低汙染、高吞吐量、最先進的控制功能,以及單一平臺中的各種不同過程。這些特性使該模型成為半導體和其他薄膜器件制造工藝的理想選擇。