二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9251471 待售

LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel
ID: 9251471
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
CVD System, 8" 2000 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel是一個先進的高性能技術系統,可同時處理無功和無功材料的光學和熱致密處理。它具有雙速度、連續操作能力,可實現高吞吐量的致密化處理。它旨在滿足大型和小型研究和制造應用的需求。整個系統包括一個組合的系統控制器和程序發生器,以及兩個可鏈接的反應室模塊。第一室模塊用於初級加工,利用兩個加熱階段;第二個用於側流、致密化過程,如原子層沈積。這為薄膜、塗層和其他材料提供了有針對性的致密化。Concept 2配備了多重響應數據記錄和分析,以及用於反應過程的終極控制和定制的自定義可編程功能。它具有內部和外部機械臂,可實現自動化控制和反饋,從而能夠快速輕松地插入和移除材料。機械手還確保反應堆在運行過程中保持適當的距離和高度。Concept 2非常適合需要高通量致密化處理和精密工程的應用。它還能夠進行雙速度順序操作,從而使用戶能夠快速同時處理多種材料。憑借先進的技術和強大的功能,Concept 2為研究和制造需求提供了可靠、節能的解決方案。
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