二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #293819862 待售
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ID: 293819862
晶圓大小: 8"
優質的: 2011
HDP CVD System, 8"
(2) Channels
Perfluorinated Chemicals (PFC) Detoxification
2011 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2雙速反應器是一種用於蝕刻、沈積和熱處理應用的高性能解決方案。它設計有兩個獨立的過程在一個單室，允許用戶創造各種微觀結構和材料。雙速反應堆能夠雙速運行，使用兩種氣體時可達到高達1400 °C的高溫。它提供快速的熱處理和低的屏障沈積速率，使其適用於從LED制造到矽器件的各種應用。對於某些工藝，可以使用兩步梯度速率來提高蝕刻速率。雙速反應堆的特點是水平拆分床裝有兩個獨立的彈藥筒。這些反應堆有兩個獨立的噴射器，根據工藝的需要，這些噴射器可以填充任意組合的工藝氣體--氫氣、氧氣、氮氣和氙氣。反應物可以單獨研究，也可以結合不同的化學研究。反應堆的設計旨在從一個過程快速過渡到下一個過程，從而實現快速循環時間。雙速反應堆具有高功率傳遞和擴散均勻性，非常適合深層蝕刻，包括鎢沈積等工藝。適用於幹式、濕式、快速熱氧化退火等常規生產應用。該反應器還可用於表面清潔、接觸和間隙填充、銅沈積、MEMS和晶體管制造。雙速反應堆配備了NOVELLUS APS系統，使用戶可以輕松監控溫度、壓力、反應物和配方設置。此外,CPXII模塊支持自動晶片處理,以實現快速和可重復的性能。此外，雙速反應堆設有先進的冷卻系統，包括螺旋腔和旋轉氣體分發器，以提高效率。該系統有助於確保過程穩定,並在各種過程條件下保持一致性。反應堆采用高性能、低維護設計，界面直觀，可配置為滿足特定客戶需求。CONCEPT 2雙速反應堆是市場上最先進的蝕刻沈積反應堆之一。具有獨特的兩步梯度速率、可調溫度和兩個獨立的過程，適用於各種各樣的應用。它還具有高功率傳遞和卓越的反應性均勻性,非常適合各種生產過程。
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