二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Altus Max #293650146 待售
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Altus Max是一種原子層沈積（ALD）工具,旨在使工藝工程師達到先進設備制造所需的高質量結果。Altus Max工具因其創新的設計和全面的自動化功能而專為高生產率和低擁有成本而設計。Altus Max是一個包含真空和沈積驅動器的工藝室。該室最多可容納兩個反應堆，能夠同時運行多個室。該系統還實現了全機器人自動化，能夠在不中斷生產周期的情況下進行腔室、晶片和組件的模塊化交換。Altus Max系統的主要特點是能夠使用ALD沈積高質量薄膜。這個復雜的過程涉及晶圓表面上兩個獨立前體的順序分層。前體可以是自組裝單層（SAM）或汽化汽化前體。為該工具開發的軟件可實現逐層精度和可重復的過程性能。Altus Max采用的ALD工藝用途極為廣泛,可以量身定制,以滿足各種應用的技術需求,如高級封裝、內存設備和MEMS組件。刀具的生產率介於30-1000晶圓/小時之間,可輕松提高產量。Altus Max是一種可靠的工具,具有可靠的工藝結果記錄。該軟件具有用戶友好的界面和全面的報告功能,並且所有組件的設計都是為了延長使用壽命,且維護最少,因此,即使是大批量生產,其擁有成本也很低。Altus Max是NOVELLUS系列產品中功能強大且可靠的工具,旨在確保高質量的結果和可重復的工藝性能,適用於研究和生產應用。它為制造先進設備提供了可靠、經濟高效的方法,並帶來了真正的投資回報。
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