二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293618620 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是為生產環境而設計的強健反應堆。它是一種先進的設備，利用先進的真空平臺提供無與倫比的性能、效率和可靠性。其創新設計采用集成矢量系統，將氣體和等離子體分散在較大的表面積上，以增強均勻性。該單元完全自動化，並配備了先進的診斷和實時流程監控功能。其精密的控制機器能實現精確的熱平衡、壓力控制和室內清潔。NOVELLUS Concept 3 Vector Express非常適合高效薄膜沈積。它包括射頻發生器、泵接口、量身定制的工藝室排氣、等離子體診斷和完全自動化。LAM RESEARCH Concept 3 Vector Express的顯著特點是其集成矢量工具。這是一組強大的氣體控制梯級，在目標基板表面均勻分布等離子體和其他氣體。這增強了薄膜均勻性，即使在反應性過程中也是如此。它還增加了底層時間並提高了整個過程的效率。創新的過程氣體控制資產提供快速的響應時間，氣體成分的精確控制，改進模型清潔度。它確保保持整個腔室的最佳環境平衡，從而提高材料質量。設備的先進診斷還能夠實時分析等離子參數和基材質量。Concept 3 Vector Express采用耐用材料制造，對化學腐蝕和熱蝕具有優異的抵抗力。這使得系統能夠處理各種各樣的生產過程。它還具有集成的安全系統和內置功能,以降低維護成本。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一個卓越的反應堆，旨在提高生產率和可靠性。其先進的過程氣體控制單元，集成的矢量機，和復雜的診斷允許精確的基板沈積和控制的過程條件。其耐用材料和綜合安全系統可確保長期性能和可靠性。這使得它成為生產環境的一個有吸引力的選擇。