二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9241174 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一款高性能的批式反應堆設備，在晶圓的生產中提供無與倫比的過程控制和均勻性。該系統有一個自動化界面，允許用戶隨著流程需求的變化輕松設置和修改設置。它具有多腔室和燈絲加熱功能，可精確控制工藝溫度，顯著提高晶圓產量和均勻性。Vector Express采用精確控制的加熱和冷卻體系結構,可提供精確且可重復的放電和蝕刻。該裝置有一個獨特的矩形腔室，具有集成的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）功能，能夠以最小的熱損害逐層堆積晶圓。利用高頻功率和飛行時間質譜的結合，可靠地調節晶圓膜性能。這個獨特的反應堆允許高吞吐量的批處理過程，可以運行長達七天，沒有任何中斷。它還利用多個氣櫃，使排氣過濾，以確保最高質量的結果。Vector Express有一臺高效的排氣機，通過使用壓力和溫度測量的組合，將晶圓表面的顆粒損失降至最低。該工具還包括一些有助於防止任何潛在汙染或結構問題的安全和監測功能。這些特點包括光學對準驗證、任何易燃氣體釋放的泄漏監測資產，以及維持晶圓表面溫度均勻性的溫度監測模型。總體而言，NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一個可靠、高性能的反應堆，提供過程控制和均勻性、高吞吐量、精確晶圓堆積以及增強的安全性和監控功能。它利用先進的技術,使用戶能夠準確控制溫度和蝕刻,並快速產生可重復的結果。依靠Vector Express，生產線可以提高工藝產量，降低成本。