二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9257029 待售
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單擊可縮放
ID: 9257029
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
System, 12"
Process: Advanced ashable hard mask
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user: Interface flat panel
Right load lock pump
Express load lock pump
Light tower audio buzzer
Wall / Flash mount
Atmospheric robot: Friction end effector
Options:
Signal tower
IMM Readiness option over left load lock
Third FOUP
(3) FOUP RF ID readers
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display
Heated process manometer
Leak check shut off valve
No HDD
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一種用於高精度應用的電阻蝕刻反應器。此高級工具提供了對蝕刻參數的卓越控制,即使在復雜的設計中也能實現更精細的蝕刻幾何形狀。Vector Express具有250毫米晶圓容量,能夠以高吞吐量速率運行。此外，它還配置了一個Endurium™的連接設備，提供了一個高度可靠的過程連接晶片和真空卡盤。vector express配備了一個可定制的機器人手臂，可以在蝕刻過程中精確定位。這種機器人臂與endurium™粘合系統耦合，在X、Y、Z軸上最多可以移動30毫米。該工具還提供了一個3D掃描頭，可以很容易地感知晶圓形狀和相應調整蝕刻輪廓。Vector Express有一個集成的控制單元，允許用戶對蝕刻過程進行多步驟編程，允許微調精度和過程控制。此外，其集成的雙（等離子體和偏置）源和雙射頻發生器使用戶能夠蝕刻非常復雜的三維模式，線寬很小，角可調性也不影響各向同性蝕刻特性。該機器還提供了良好的過程重復性。這是由於增加了兩個用作凈化室和排氣室的室。這有助於減少腔室汙染，並隨著時間的推移提高工藝穩定性。這些附加功能及其多用途的源配置為用戶提供了卓越的性能和過程靈活性。此外,其緊湊的設計和強大的性能使Vector Express成為精密蝕刻工藝和應用的理想選擇。
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