二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9281507 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一種高度先進的反應堆，專門設計用於將介電材料層沈積到半導體晶片上。這種創新的設計提供了一致統一的高吞吐量,使其能夠滿足最苛刻的生產要求。Vector Express具有兩個不同區域的兩級等離子體反應堆。第一個區域是可以在低功率和高功率水平上操作的高真空區域。該腔室中的高功率能提高沈積速率和材料沈積均勻性。第二個區域是低真空區域，旨在盡量減少汙染並提供均勻性控制。Vector Express中的第三個區域是排氣區域，設計用於在處理過程中完全隔離晶片，並幫助從系統中清除任何不需要的顆粒和氣體。Vector Express反應器由四個主要部件組成：預熱器/退火器後室、偏置濺射器、電子回旋共振室和真空真空室。預熱器/退火器室分別在偏置濺射過程前後使用紅外燈和熱氮氣加熱晶片。偏置濺射室裝有靜電場，以低功率水平轟擊晶片，允許沈積精確而均勻的材料層。電子回旋共振室利用高頻無線電波激發環境氣體中的原子，產生可用於沈積極化特性異常的介電材料的等離子體環境。最後，真空室被用來為整個過程提供一個極清潔的環境，確保沈積物料的汙染最小。來自NOVELLUS的NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一個革命性的反應堆，可以在半導體晶片上提供快速精確的電介質沈積。這種先進的設計大大減少了生產具有高均勻性的可靠芯片組所需的時間和資源。Vector Express能夠在低功率和高功率水平上運行，從而提高沈積速率和提高沈積材料的均勻性，使反應堆能夠滿足最苛刻的生產要求。Vector Express利用靜電場、射頻波和清潔環境,能夠提供高度均勻的材料沈積,從而生產出可靠、高性能的芯片組。