二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9294929 待售
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ID: 9294929
CVD System, 12"
Process: PESiN
VAT 075 Slit valve
VAT Pendulum valve
Signal tower
MC3 Module controller
EMO
Host interface: SECS
LCD Monitor, 12"
Process module:
Chamber body
Chamber process: PESION
Process clean type: RPC
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M Pod loader
MC3 Module controller
SMC Load lock slit valve
C2027-D01 Trust controller
VAT Pendulum pressure control valve
VAT 075 ATM Load lock valve
AX7645 RPC Generator
Servo spindle lift
ADVANCED ENERGY APEX-5513 HF Generator
CLX2500 LF Generator
Navigator 10013 RF Match
LTM Assembly, P/N: 02-169180-01 Rev E
RF Interface B/D, P/N: 26-164535-00
Chamber gas box:
MFC Number / Name / Size / Make / Model
MFC 1 / SiH4 / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 2 / N2O / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 5 / He / 20 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 6 / NH3 / 1 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 7 / N2O / 25 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 8 / O2 / 30 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 9 / NF3 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC A / N2O / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC C / Ar / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC D / N2 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
Missing parts:
Load lock dry pump
Turbo molecular dry pump
Module dry pump
UPS Power: 120 V, 3 Phase, 3-Wires
Power supply: 208 V, 3 Phase, 5-Wires
2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express是一個革命性的等離子體處理反應堆，旨在提高半導體器件制造的容量和吞吐量。Vector Express反應堆采用創新架構，使復雜生產任務的性能最大化。它利用了四個獨立的等離子體管，每個等離子體能夠提供等同於全尺寸等離子體蝕刻室的高功率等離子體。這些等離子體管集成到最先進的設計中,可以緩沖過程,從而實現更高效的事件計時、更好的周期時間和最小的維護。此外，Vector Express還配備了一個車載氣體歧管，直接向等離子體源供應惰性和反應性氣體。此功能支持更精確的流程參數,並允許更長的操作時間,從而提高吞吐量和更好的可重復性。Vector Express還配備了一個極其堅固可靠的感應板,它能夠在工藝後冷卻期間承受熱沖擊,並提供出色的均勻性蝕刻結果。最後，該反應堆配備了一個新的、革命性的壓力控制系統，其作用是確保燃燒室始終在最佳壓力環境下運行，從而提高產量和提高產品質量。NOVELLUS Concept 3 Vector Express確保了用於半導體器件制造的可靠、高性能的等離子體處理解決方案。
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