二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel #9410421 待售
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ID: 9410421
晶圓大小: 12"
優質的: 2000
USG Deposition system, 12"
(2) Load ports
(12) Boxes
Main frame
(2) Chambers
2000 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel是一種先進的沈積反應器，旨在為高性能材料提供精確高效的薄膜層沈積。NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel是使用NOVELLUS開發的專有Vector Sequel技術的一系列反應堆設計中最新的。這一技術基於矢量流沈積原理，利用受控的沈積氣體、汽化源材料和基板輸入組合，形成一層高度均勻和精確的薄膜材料。LAM RESEARCH Concept 3 Vector Sequel的機械設計是一種模塊化、開放式的格式，允許快速、方便的重新配置和維護。它具有一個用於創建多個工藝室的沈積室和可與該室集成的各種工藝工具。這些工具由質量流控制器、無功開關、雙反應歧管和PID控制器組成。Concept 3 Vector Sequel還利用一個專門的基於計算機的用戶界面（GUI），用於顯示和控制反應堆的運行參數。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel的設計提供了廣泛的工藝參數，可用於將沈積工藝定制到各種應用中。這包括改變材料沈積速率、溫度和工藝壓力的能力，以及為最佳薄膜層沈積設定曝光時間和停留時間的能力。NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel反應堆的整體靈活性允許沈積廣泛的材料，包括氧化物、鹽和金屬。LAM RESEARCH Concept 3 Vector Sequel還包括許多其他高級功能,如高溫選項、室內清潔選項,以及配有內聯和原位氣體分析儀的平衡氣體供應,用於監測工藝條件。Concept 3 Vector Sequel結合了先進的沈積技術、高端材料和工藝靈活性，是一款功能強大、用途廣泛的薄膜層沈積工具。最後，LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel是一種用途廣泛的沈積反應器，提供了多種優化薄膜沈積的處理方案。其模塊化設計、先進的工藝工具和用戶友好的計算機界面，使其成為滿足各種薄膜沈積需求的有吸引力的解決方案。NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel具有高效的性能、廣泛的材料和精確的控制,是研究和生產環境中的理想沈積工具。
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