二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261720 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector是一種反應堆，設計用於處理化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）等各種工藝應用。這種先進的CVD/ALD反應堆具有三區熱環境，能夠通過三個加熱和冷卻板來調整工藝條件。NOVELLUS Concept 3 Vector設計有低壓等離子體源，具有13.56 MHz的感應耦合等離子體（ICP）配置。這樣可以產生均勻的等離子體和低紫外線輻射，以提高過程的可重復性，並具有一致的粒徑和沈積成分。LAM RESEARCH Concept 3 Vector實現了快速的工藝室疏散，減少了工藝周期所需的時間，減少了薄膜的粗糙度。此外，Concept 3 Vector具有優越的反應氣體分配系統，通過均勻的反應氣體輸送提供優越的質量膜。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector也設計了超低氧化系統。它利用三層線圈降低氧化物性能和低擁有成本。此外,NOVELLUS Concept 3 Vector采用先進的熱電模塊進行設計,確保目標溫度區域快速,溫度匹配,具有可重復性和準確性。LAM RESEARCH Concept 3 Vector的可編程邏輯控制器（PLC）提供高性能的過程控制，允許精確且可重復的過程配方。其出色的設計使Concept 3 Vector成為光伏太陽能電池、薄膜晶體管、柵極電介質等材料加工的理想選擇。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector提供出色的膠片均勻性,同時仍提供快速的處理時間和卓越的過程重復性。其革命性的設計也使其成為超高密度存儲器、微機電系統（MEMS）鑄造廠和BiCMOS晶片的絕佳選擇。憑借其卓越的功能,NOVELLUS Concept 3 Vector提供了改進的設備性能和提高的生產產量。LAM RESEARCH Concept 3 Vector是各種制造工藝的有效反應器。