二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261722 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector（C3V）是一種業界領先的等離子體反應堆技術，旨在生產用於半導體器件制造的高質量反應離子。這項技術能夠在高沈積速率下產生高能離子，從而在大面積上實現超高沈積均勻性。C3V反應堆由一個由一系列圓形柵格和通道包圍的馬蹄形主室組成。主室中央是施加電場的環形陰極。離子在這種電場中是由一種中性氣體，例如氙對陰極的沖擊產生的。這些離子隨後被引導穿過其中一個圓形柵格，並通過一系列強度和長度變化的脈沖場進行引導。這個精心編排的脈沖場序列使C3V反應堆能夠以極均勻的方式產生高能離子束。為了使其性能最大化，C3V反應堆配備了有助於消除電場產生熱量的冷卻系統，以及在整個腔室內保持均勻工藝條件的自動壓力調節系統。此外，C3V還具有多個獨立的檢測系統，可實時測量離子束的能量、種類和強度，以確保沈積均勻性和可重復性。C3V除了具有高性能外,還易於維護和操作,是各種制造應用程序的絕佳選擇。反應堆先進的控制系統還允許遠程監控，所有運行參數都可以調整以達到最佳工藝性能。總體而言,C3V運行高效可靠,可提供高產率的大面積沈積均勻性、產量和生命周期性能。C3V反應堆是許多半導體制造工藝的行業領先解決方案。