二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9375284 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector是為全球半導體制造行業設計的等離子體增強化學氣相沈積反應器。它是為滿足先進技術節點最嚴格的需求而構建的,提供了無與倫比的性能。NOVELLUS Concept 3 Vector融合了獨特的高長寬比淋浴頭和蝕刻管架構，使其能夠以出色的吞吐量處理盡可能小的特征幾何形狀。設計的均勻性和先進的腔室設計提供了高度的可重復性,使客戶能夠降低最終產品缺陷率並簡化其生產需求。LAM RESEARCH Concept 3 Vector利用靈活的射頻電源,具有全面的電源控制、吊墜、斷氣分餾和預播種功能。它提供了無與倫比的多功能性，可以配置為與各種腔室、腔室大小和基板材料配合使用。Concept 3 Vector旨在滿足當今先進技術節點的最高工藝溫度和溫度均勻性要求。它還包括先進的冷卻技術,允許嚴格的過程控制,確保最高的產品質量和產量。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector還提供了廣泛的氣流靈活性。Vector利用其全面的氣體管線和分配技術,可以精確地管理每一個形成膜的前體,並需要支撐氣體,從而易於調整到廣泛的過程。最後,NOVELLUS Concept 3 Vector具有全面的診斷和嵌入式工具,使用戶能夠在最高控制、準確性和一致性級別上優化其流程。LAM RESEARCH Concept 3 Vector從氣線控制和溫度剖析到過程優化和預測維護功能,為客戶提供了推動創新邊界所需的工具。