二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT ONE #9079785 待售
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ID: 9079785
晶圓大小: 6"
CVD (Tungsten) Systems, 6"
Generators
Pumps
Currently installed in fab, powered down.
LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE是由NOVELLUS和LAM RESEARCH Systems開發的全球聯合品牌反應堆。它是一種300毫米（12英寸）先進的步進重復設備，專為高生產率、精密蝕刻在微光刻領域的應用而設計，例如在半導體器件制造中。NOVELLUS CONCEPT ONE使用高速、高溫、遠程等離子體源，可移動到整個基板表面。這允許高精度的圖樣和蝕刻特性,與快速處理時間.高精度的獨立卡盤機構可實現復雜的圖樣設計,空氣軸承組件可提供卓越的運動,而不會因熱循環而降低零件性能。LAM RESEARCH CONCEPT ONE配備了多種配件，使系統適合不同的蝕刻應用。首先，冷卻系統包括用於冷卻晶片和電極的高容量液氮子系統。這提供了精確的溫度控制和出色的均勻性。其次，該機組配備了「摻雜氧化物」射頻發生器，在等離子體中產生均勻的電場，用於精確控制蝕刻工藝參數。第三，光學系統包括高分辨率攝像機，用於對基板上的目標圖樣進行高精度對準。CONCEPT ONE還擁有一套車載計量工具，用於實時測量蝕刻工藝性能。其中包括實時激光掃描儀、邊緣輪廓監視器和缺陷檢測器,用於評估蝕刻過程的有效性並提出任何問題,如模式保真度、模內蝕刻輪廓、蝕刻速率等。此外，LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE配備了一套監控功能，提供車載視覺和音頻信號，提醒操作員註意潛在的流程問題。NOVELLUS CONCEPT ONE為用戶提供了針對其特定的滿足和蝕刻應用需求而量身定制的高級交鑰匙蝕刻和光刻解決方案。它的自動化過程控制軟件負責處理所有參數並監控蝕刻過程,確保最佳執行、提高產量和可靠性,並最大限度地減少停機時間。總體而言，LAM RESEARCH CONCEPT ONE是一款先進、健壯且高度可靠的蝕刻機，適用於廣泛的蝕刻和光刻應用。其板載計量工具陣列、自動化過程控制軟件、高度精確的圖樣、溫度控制和獨立的卡盤機構，使其成為高生產力、精密蝕刻應用在微光刻領域的理想解決方案。
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