二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT ONE #9364618 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE是一種多區、高性能的批式反應器，設計滿足各種薄膜沈積和工藝要求。NOVELLUS CONCEPT ONE構建在一個強大的平臺上，提供可重復的均勻性和精確的物料流控制。它由幾個集成組件組成，包括一個加工室、晶圓轉移機器人和一個控制設備。該工藝室設計用於在密封反應區內容納和循環工藝氣體，以提供更好的膜均勻性。該室還配備了頂部鉸鏈門，便於維修和維修。晶圓轉移機器人以自動化方式將半導體晶圓運輸到整個工藝室中，以盡量減少暴露於有害氣體的時間，同時確保在每個晶圓上的薄膜沈積準確。控制系統是一套完全集成的軟硬件組件，旨在監視和控制過程的各個方面。它可以被編程為自動調整參數以優化膠片的均勻性、吞吐量和可重復性。LAM RESEARCH CONCEPT ONE提供了實現高質量、高通量薄膜沈積所必需的所有功能。該工藝室配有高壓氣體分配裝置，能夠有效混合沈積氣體並增強膜均勻性。利用加熱的敏感器式晶片處理機，減少界面汙染，改善基材粘附。所有組件都與控制工具集成在一起，該工具可自動適應每層沈積的溫度、氣流和壓力。閉環多區間歇反應器允許精確控制工藝條件，從而允許從晶圓到晶圓的最佳薄膜性能。此外，該資產可以很容易地適應其他工藝應用，如蝕刻，納米結構和光子器件制造。CONCEPT ONE為許多薄膜沈積工藝提供了可靠、用戶友好且高效的解決方案。其尖端特點、均勻性和可重復性使其成為任何希望外包薄膜沈積的公司的理想選擇。