二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS EFX MOD C for Concept 3 Altus #293625749 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS EFX MOD C for Concept 3 Altus是一種設計用於半導體制造的高精度、多功能蝕刻反應器。EFX Mod C的高級功能為蝕刻化學和工藝參數提供了高效、可重復的控制。它采用最先進的、高通量的、直接驅動的多區腔室設計,以最大程度地減少蝕刻速率變化並消除掩模尖峰。多區室有三個縱向和兩個橫向區，都可以獨立配置。雙源氣體輸送設備，結合可調化妝氣體水平，提供控制和微調等離子蝕刻過程的能力。分布式靜電卡盤在整個末端產生均勻的磁場,以確保均勻蝕刻。EFX Mod C采用電源輸送系統設計,可實現更大的過程靈活性和控制。這是通過獲得專利的頻率交換方法實現的，該方法能夠控制和管理蝕刻速率的可變性。腔室還設計有先進的冷卻裝置，允許使用高溫蝕刻工藝，對基板的熱損害最小。通過仔細控制冷卻氣體的壓力、流量和溫度，鋁基板保持未損壞，矽保持均勻圖樣。EFX Mod C支持使用基於氯和氟的蝕刻化學方法。通過允許用戶控制相對化學水平和蝕刻速率，EFX Mod C使各種工藝參數得到控制和監控。EFX Mod C是控制先進半導體器件制造行業精密蝕刻工藝的有力工具。憑借其雙源氣體輸送機、可調化妝氣體水平、分布式靜電卡盤以及先進的冷卻工具，為用戶提供了產生高質量效果所需的控制和可預測性。EFX Mod C贏得了業界領先的蝕刻反應堆的地位,為用戶提供了更高的蝕刻速率精度、降低的熱損壞和更大的工藝靈活性。