二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE XT #293610192 待售
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LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE XT反應堆是一種高精度、低壓等離子處理設備，專為先進的半導體制造工藝而設計。通過使用射頻等離子體和升高的底物溫度，該反應器能夠進行表面改性和蝕刻過程。NOVELLUS SABRE XT反應堆建立在生產級平臺上，配備了專有的射頻源技術，實現了出色的工藝重復性和控制性，並提高了等離子體均勻性。實現了出色的表面質量和對蝕刻工藝的次埃控制。基板由石英加熱器板加熱，能夠達到1000 °C的溫度。通過直列式氣箱將工藝氣體引入蝕刻室。燃氣箱線路與GGA（燃氣表總成）相連，配有氣體流量計、隔離閥和快速連接配件，便於維護。該反應堆設計用於批量加工，最多可同時加工四種底物。LAM RESEARCH SABRE XT還配備了低維護負荷鎖和卡帶處理器，以及一個溫控過程氣體分配箱。該系統還有一個精密的自動化控制單元，用於監控流程參數，從而實現更快的處理時間、更高的產量以及更高的流程可重復性和穩定性。該機先進的性能、控制和處理一致性使SABRE XT反應堆成為先進半導體生產的經濟高效、可靠的蝕刻解決方案。其低壓等離子體源、石英加熱器板、均勻的溫度分布和在線氣體處理使其成為納米級器件制造的理想選擇。
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