二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Sequel #293614939 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Sequel是一種用於微電子器件制造的物理氣相沈積（PVD）和蝕刻（RIE）組合工藝工具。此工具用於諸如在基板表面形成導電和介電材料層以及創建諸如觸點和通風孔之類的設備模式等應用。NOVELLUS續集工具的序列過程分為兩部分.第一部分是物理氣相沈積（PVD）工藝，用於沈積導電和介電材料層。這部分構成了一個超高的真空室，包含基板的時候，材料的層被應用。材料從熱源中蒸發，然後在基板表面冷凝，形成均勻的層。此過程的第二部分是蝕刻（RIE）步驟,用於將接觸和通氣等特征定義為材料層。這一步是通過使用高反應性等離子體激發供體分子來完成的。這一過程作為一種機制，以使用傳統蝕刻技術通常難以實現的精確方式去除某些材料或特征。材料上的受控蝕刻速率隨後受到控制等離子體密度和能量的射頻功率的影響。LAM RESEARCH Sequel工藝通過將這兩種工藝合並到一個系統中來提供更高質量的表面加工,從而可以將物理和化學工藝步驟合並到一個工具中。通過此雙過程步驟,客戶可以實現更高的精度和改進的設備制造可重復性。兩步過程還能夠實現理想的方面,例如精確的陣列控制,以減小特征尺寸的層厚度。綜上所述，Sequel工具是一種最先進的反應堆工具，旨在實現微電子器件的精確制造。它采用雙工藝室，以同時執行物理氣相沈積（PVD）和蝕刻（RIE）步驟。這項尖端的LAM RESEARCH/NOVELLUS Sequel技術可以提供更高的精確度和更好的重復能力。