二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9167146 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一個革命性的批量反應堆,在高效、用戶友好的設計中提供最大的靈活性、最大的吞吐量、卓越的控制和卓越的沈積均勻性。這座反應堆標誌著先進的集成電路設計和制造在光刻一體化方面取得了巨大的進步。這個先進的反應堆在一個平臺內進行蝕刻、沈積和清潔等作業，同時允許當地定制生產能力和復雜性。該反應堆使用多種計算機控制的工藝氣體組合，允許對表面進行定制修改，采用先進材料，如氮化矽、多晶矽和鎢等，以及無定形和濺射材料。反應堆配有幾個獨特的模塊，便於更快、更受控制、更高效的過程。主要模塊是雙電極系統（DES）。DES提供了對工藝條件的極其精確的控制,同時還實現了更高的吞吐量速率。反應堆還配備了「分裂射流」噴嘴系統，該系統優化了多種材料的沈積特性。噴嘴還可以在整個業務晶片上實現更均勻的層覆蓋和更好的清潔性能。該反應堆的NOVELLUS Speed通過使用其自動、highLAM RESEARCH Speed機器人處理晶圓和其他工藝部件而進一步提高。這個機器人增加吞吐量，減少體力勞動，消除汙染的可能性。反應堆獨特的橫流設計效率極高，提供最大晶圓處理速度。反應堆還配備了先進的安全功能，如電氣和化學聯鎖系統、緊急關閉開關、可配置的過程處理以及惰性氣體聯鎖。NOVELLUS Reactor提供用戶友好的設計和優越的工藝控制。該反應堆是為了與其他工藝組件集成而建造的，允許以最大的效率和靈活性生產先進的半導體。