二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9353432 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一種反應性處理設備，用於在執行復雜、高溫和高純度化學過程時提供高端處理性能和效率。它在高達600°C的最高溫度下運行，設計可靠，能夠提供高水平的系統性能和質量控制。NOVELLUS Speed Reactor的核心部件是一個工藝室、雙氣源、等離子體電源和多個晶圓烘烤爐。腔室由堅固的不銹鋼外殼構成，支撐必要的絕緣材料，以承受加工所需的高溫。腔室內有一個旋轉的壓板，該壓板裝有一個感光器和要加工的晶片。雙氣源為流程的每個步驟提供所需的流程氣體。等離子體電源用於創建高強度等離子體，以進一步細化工藝氣體，從而實現對工藝參數的精確控制。烤箱用於預熱和熱後晶片，以實現改進的加工和達到預期的效果。對於等離子體增強過程，LAM RESEARCH Speed可以處理多種不同的氣體，包括氫氣、氧氣、氮氣、氙氣、氨、氯氣以及多種其他化合物。對於物理氣相沈積過程，Speed配備了各種揮發源，如電子束、燈和石英船。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed在處理NOVELLUS Speed（因為其快速的溫度傾斜率）、腔室均勻性以及提供極低壓力、低能量環境以創建穩定過程方面提供了卓越的性能。此外,LAM RESEARCH Speed通過其多個等離子體源、先進的控制系統和精密的計量單元,在沈積速率、均勻性和晶圓產率方面都能實現卓越的工藝性能。對於那些尋求先進工藝制造和設備制造解決方案的人來說,速度是一個理想的選擇。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed提供堅固的結構、精確的控制和卓越的工藝質量,使其成為那些尋求可靠、高性能的加工機的人的絕佳選擇。