二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293644141 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHM是一種先進的高生產力化學氣相沈積反應器，專為大體積半導體制造而設計。該反應器能夠沈積大面積電介質和金屬，如高k電介質和金屬合金，用於集成電路裝置的制造。其廣泛的沈積過程使其能夠支持各種應用和材料。NOVELLUS Vector Express AHM具有模塊化設計，易於安裝和設置，以滿足基板處理和吞吐量要求。它具有大型自動盒式裝載端口，方便晶片的裝卸，以及用於軌道的傳送帶系統。其先進的沈積室設計包括監測和控制過程均勻性的儀器以及控制過程條件的自動化軟件。LAM RESEARCH Vector Express AHM還具有多個氣體入口閥，使其能夠支持廣泛的沈積過程。此外，它還配備了前體混合和輸送系統，允許對薄膜成分進行精確控制。這保證了沈積化學的精確滿足，從而產生更高質量的薄膜。除了影片的質量外，Vector Express AHM還提供了許多有助於其生產力的功能。其高沈積速率提供了比其他CVD反應堆更高的生產吞吐量，其先進的工藝控制確保了整個晶片更大的均勻性。其高效的自動晶圓處理系統減少了周期時間和擁有成本，而其集成的安全功能確保了操作員的保護。總體而言，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHM是大容量IC器件制造的理想CVD反應器。其先進的設計和特點使其成為優質薄膜沈積的可靠高效的解決方案。它完美結合了過程控制、效率和安全性,使其成為要求最苛刻的應用程序的理想選擇。