二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293807091 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM是一種反應堆，用於半導體和其他微電子器件制造中的蝕刻、沈積等相關工藝。NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM是一種單晶片原子層沈積（ALD）設備,具有單晶片負載鎖,能夠在大型基板上提供精確、均勻的薄膜沈積。LAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHM的使用提供了對沈積參數的精確控制，允許用戶創造設備成功所需的所需薄膜特性。VECTOR EXPRESS AHM系統配備高壓反應室，能夠提供高達400C的溫度和高達100 Torr的壓力。該腔室內的內聯光學單元允許精確的薄膜厚度測量和均勻性。該機還有一個用於多層器件加工的集成晶片平面化站和一個用於沈積前晶片表面制備步驟的等離子體室。該工具利用兩個基於射頻的電源，用於等離子體腔和PECVD反應腔。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM允許在沈積過程中使用最多四種前體，並使用原位計量來監測沈積過程。此外,該資產還借助ToolKit軟件提供了遠程操作和配方開發等額外好處。ToolKit使用戶能夠分析從反應室中獲取的數據，並為特定設備開發沈積過程配方。NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM也可以加裝附加配件，以進一步自訂型號，例如使晶圓叢集模具的負載鎖、負載鎖隔離系統、靜電卡盤以自動晶圓高度監控。該設備還具有進行濺射清洗和氮化矽、氧等離子體灰化等額外表面處理的能力。總體而言，LAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHM是為制造高質量微電子器件而設計的強大可靠的系統。它的自動化流程和集成軟件提供了一個靈活且高度可定制的平臺來滿足用戶的需求。VECTOR EXPRESS AHM在大型基板上提供均勻、受控的薄膜沈積的精確度使其成為許多設備制造過程中可靠可靠的單元。