二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9293142 待售
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已售出
ID: 9293142
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
CVD System, 12"
Power option: K-Model
Interconnect cable length: 22 m
Server type: DS/ EC
Process module options:
Process capability: HDR DB SiN / USG / SiN / ARL
ASTRON HF-S (15L) RPC Generator
RF Configuration: SiRF kit
Heated top plate: Passive
Hot chamber cover
APEX 5513 HF Generator
PDX 2500 LF Generator
ADVACED ENERGY Navigator HF Matcher
COMDEL LF Matcher, Two channel fixed matcher
Process manometer: Heated, 10 Torr
Hasting gauge pm
Hastings gauge foreline
(5) View ports
Spindle type: Servo
Pedestal option: Low profile
Minimum Contact Area (MCA): Pin, ball
Carrier ring: Standard
Pendulum valve: VAT
Lift pin: Servo type
Shower head, 13"
EIOC Configuration: Standard
IR EPD
Foreline type: Symmetric
Gas box configuration: Standard 12 channels
UI Option: Standard
UI Location: Right / Left
Signal tower
Front signal: Buzzer arm mount
Fascia color: Sky white
BROOKS AUTOMATION Reliance 9 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION Mag 8 Vacuum robot
End effector: (2) Arms / Friction type
(4) FOUPs
BROOKS AUTOMATION / JENOPTIK Vision Load port
OMRON RFID Reader
Lamp
Ionizer kit
Light curtain option
Additional front end EMO
Load lock: Standard In / Out bound load lock
Filter Fan Unit (FFU) Option
Chase computer with cart
Throttle valve type: NORCAL
2008 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是半導體制造業的世界級蝕刻器和asher。它是專門為關鍵蝕刻和灰燼操作提供先進的精度和低缺陷而設計的。NOVELLUS Vector Extreme利用革命性的高密度雙源等離子體處理技術，實現了更好的控制、更低的粒子生成以及更高的後端線蝕刻應用吞吐量。它還支持廣泛的蝕刻化學方法，以實現高級節點設備的通用工藝優化和經濟高效的處理。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME 蝕刻器/asher為各種設備結構和應用程序提供了最大的靈活性和可擴展性,同時支持多種軟件包格式、大小和大小。它具有高度可配置的750 mm平臺,能夠處理高達3750 mm2的模具尺寸。其他關鍵特性包括動態蝕刻技術，一種先進的物理建模能力，以優化DVD應用的蝕刻過程；微米精度調平（MAL），一種獨特的用於精密蝕刻工藝控制的峰谷痕跡高度補償技術；以及可擴展晶圓更換器（EWC）,這是一個模塊化的工作處理系統,具有緊密的開放式體系結構,可最大程度地提高流程靈活性。Vector Extreme的升空蝕刻功能旨在最大程度地減少在處理過程中在卡盤上移動晶片的需要,同時減少晶片上的壓力變化。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME還包括先進的清潔功能,如高級高溫氫化物CVD （AHT-CVD）,以確保最大程度的工藝穩定性和最小的顆粒生成。利用主動過程監視（APM）、過程適配器自動調諧和基於擴展配方的接口（ERBI）等強大的過程控制功能,可確保使用多個目標進行精確調整,從而輕松優化蝕刻過程。NOVELLUS VECTOR EXTREME提供可靠性和魯棒性,具有廣泛的功能以滿足當今最苛刻的半導體器件要求。LAM RESEARCH Vector Extreme擁有先進的技術、高通量和可配置性,是您在半導體行業中所有蝕刻和灰化需求的理想選擇。
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