二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293627660 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT是一種高性能、全自動的大氣壓力等離子體蝕刻沈積系統，專為先進的3D材料制造而設計。NOVELLUS Vector XT提供了最高的速度、最高的精度和最低的氣體消耗,以實現高產、經濟和可持續的過程。LAM RESEARCH Vector XT是一種獨立的批量處理工具,具有集成的氣體/真空歧管,可同時使用多達12種工藝氣體,在制造要求方面具有廣泛的靈活性。它的模塊化設計提供了卓越的過程控制,為用戶提供了降低的擁有成本、高吞吐量和可重復的過程。Vector XT反應器的真空室是一個圓柱形的不銹鋼結構，直徑10英寸。它的密封是由手動門鎖和一個低壓，氮填充清洗溶液的組合維護。當工具需要新的工藝氣體時，可以在抽出之前將其裝入腔室底部，從而實現快速高效的過渡。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector XT包括最快的雙軸「z-theta」機械手（機械臂）之一，可用於調整基板的角度，從而實現對過程的微調控制。車載數字化過程控制單元包含一系列專用和集成的硬件和軟件組件,能夠自動執行蝕刻和沈積過程。這可以包括溫度控制、反應性氣體速率控制、射頻供電、壓力曲線、氣體測序和氣體組成。雙頻射頻電源可提供高達450瓦的功率,而交替脈沖直流電源可提供高達300瓦的功率。NOVELLUS Vector XT的操作終端采用用戶友好界面設計,提供了一系列功能,包括設置、過程評估、數據審查、密碼保護以及手動模式和自動模式之間的切換。安全功能也很豐富,包括接近傳感器、燈系統和壓力監視器。這些燈配置為指示腔室壓力、系統狀態、氣體檢測和氣體處理，確保操作員安全。LAM RESEARCH Vector XT的腔室尺寸足夠容納多種基板，大小可達450mm x 450mm x 300 mm，適合晶圓、PR基板、MEMS器件等復雜基板。其專有的噴嘴幾何形狀允許在蝕刻和沈積過程中具有均勻性和可重復性，令人印象深刻的沈積速率為20埃/秒。總之，Vector XT是一種通用耐用的大氣壓力等離子體反應器，適用於各種蝕刻和沈積過程。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT具有先進的功能和使用多種基材的能力,可為用戶提供幹凈、可重復的結果,並降低擁有成本。