二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293649596 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT是一個用於半導體加工的反應室。它能夠為需要超高真空水平的序列特異性化學提供高吞吐量和低擁有成本。NOVELLUS Vector XT是幾種特定於應用程序的配置中用於高級材料處理的領先工具,是蝕刻和沈積等關鍵制造步驟的理想選擇。作為集成設備,LAM RESEARCH Vector XT配備了先進的RPC（快速過程控制）模塊,允許靈活、準確的過程控制,以及可靠、安全的操作。Vector XT的性能超過傳統系統，具有較高的過程重復性和精確的交付能力。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT具有在單室內進行多步處理的能力，使得多次作業在較短的時間內完成。NOVELLUS Vector XT可以配置在氣相或液相系統中，允許各種應用。此外，LAM RESEARCH Vector XT擁有先進的加熱/冷卻系統，可實現精確和可重復的溫度控制。Vector XT還配備了專利的多效果型排氣單元，允許排氣的最佳效率和均勻性。排氣機獨特的設計使其在低背景壓力下具有優異的性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT的主要特點是其獨特的腔室幾何形狀，允許獨特的基板序列和工藝配置。NOVELLUS Vector XT在使用合適的工藝氣體、激光和泵時可以達到高精度和吞吐量。除了卓越的性能，LAM RESEARCH Vector XT還提供高水平的可靠性、安全性和穩定性。為了確保高效運行,Vector XT對所有硬件和軟件組件進行嚴格的質量控制,並定期接收軟件更新。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT符合最新要求和行業標準,包括SEMI S2、S8、S18和MIL STD 45662。NOVELLUS Vector XT是一種革命性的反應室，旨在提供半導體加工方面的卓越性能。其先進的特性和高精度的性能使其成為大型和小型制造工藝的理想選擇。LAM RESEARCH Vector XT允許可靠和經濟高效地生產先進材料供各種行業使用。