二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293649597 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT Reactor是一種用於半導體器件制造的多功能蝕刻沈積工具。它將紫外線激光加工、直流等離子體蝕刻、高密度等離子體和反應性氣體沈積結合在一個工具中，提供全面、自動化的處理解決方案。NOVELLUS Vector XT是一個完全集成的平臺，提供系統級和腔室級控制，實現完整的原位過程表征和診斷。LAM RESEARCH Vector XT的紫外線激光處理能力提供了一種能精確蝕刻和沈積極低線寬粗糙度納米級結構的高精度光束。激光還可以用來形成具有鋒利的精密和側壁角的亞微米大小的插槽，以及用於快速的「黑面膜」處理。通過利用直流等離子體蝕刻,Vector XT使用戶能夠利用先進的CCM技術創建高縱橫比、深溝和外圍屏蔽等功能。這也消除了額外的預蝕刻步驟、加速循環時間和降低成本的需要。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector XT也支援高密度等離子體（HDP）沈積高級金屬、氧化物和電介質。這些HDP工藝導致最小的重新沈積，這對於沈積表面粘附不良的材料是必需的。NOVELLUS Vector XT還支持反應性氣體沈積，以進一步增強對薄膜結構的控制。這樣可以消除沈積後的處理,如清潔、沖洗、固化和調理,從而縮短了整個周期的時間。為了進一步完善其功能,LAM RESEARCH Vector XT集成了一系列診斷程序,以解決現場的實時挑戰。配備原位光譜儀，提供多波長分析，評估蝕刻速率、沈積速率和材料特性。它提供反饋,以不斷調整工藝參數,並在產量、生產率和設備性能之間實現最佳平衡。此外，Vector XT還支持晶圓射頻計量，實時監測蝕刻速率和精度。總體而言，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT Reactor是一種用於半導體器件制造的多功能多室工具。它提供精確的納米級光束處理、高縱橫比蝕刻能力、高密度等離子體沈積和反應性氣體沈積。NOVELLUS Vector XT還提供高級診斷，包括光譜和晶圓射頻監測，以確保最佳的過程表征和控制。這一功能組合為半導體器件制造提供了全面的解決方案。