二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9227340 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9227340
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
CVD System, 12"
PE-TEOS Process
Automatic lift chamber mechanism
I/O Port stage: OHT
Foup capability: (25) Slots
Controller:
System monitor: LCD Type
Remote monitor: Keyboard, LCD type
Controllers & boards temperature: Under 40°C
Gas system:
Gas line: 1/4 VCR
NF3 Gas
Filter: SUS316 SS / NF3 Hastelloy
Gas box temperature: Display by digital gauge
Negative voltage of MFC signal: Display, interlock
SAMSUNG Chamber pump
Load lock & turbo molecular pump
Capacitance manometer for chamber pressure control: Tempered type
Pressure transducer for chamber: ATM Switch
TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve
Ground for D NET: Chassis ground
Circuit safe guard: All Circuit breaker
Internal utility line color SEMI Standard
Heat exchanger: Pressure control
Chamber
AC Rack
NPP Rack
NTU Box
Wall computer
Chase computer
2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一種高級蝕刻/asher工具,用於半導體制造工藝。它是一個環境工藝室,能夠對石英、矽和某些金屬等基材進行高精度的等離子體蝕刻。NOVELLUS Vector具有兩種等離子體源:一種是標準源,即13.56 MHz射頻發電機,另一種是可選的可切換源,即低頻射頻電源。這兩個等離子體源允許蝕刻具有不同蝕刻化學性質的各種材料。它還具有高功率快速熱退火(RTA)腔室,可以更快地熱處理基板。LAM RESEARCH Vector具有多種功能,使其成為一種通用的蝕刻工具。其垂直設計提供了一個均勻的蝕刻環境,而其自調階段則用來對齊和調整不同的基板形態。它還配備了自動化閥門以最大化不同的加工化學,以及精確運動控制器使晶片對準目標蝕刻深度。此外,Vector還配備了一種精密的掃描算法來精確控制過程時間和深度.其自動化的晶片裝卸也使得操作方便。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector的高級蝕刻功能使其成為各種項目的理想工具。它結合了精確度和控制,提供了最佳的蝕刻質量.它的自調整等離子體源還可以讓操作員輕松調整蝕刻密度和配方,提供高效有效的處理結果。此外,它的快速熱處理能力使加工周期變得緊湊,並確保基材能迅速為下一個過程做好準備。總體而言,NOVELLUS Vector 蝕刻器/asher是一個用戶友好、高度先進的蝕刻系統。由於其高精度的等離子體蝕刻能力加上快速熱退火和自動晶圓處理,它是半導體制造項目的絕佳選擇。LAM RESEARCH Vector具有多種多樣的特點,是一種非常可靠有效的蝕刻工具.
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