二手 LAM RESEARCH Sabre 3D #293620476 待售

LAM RESEARCH Sabre 3D是一種先進的反應堆,旨在實現突破性的蝕刻和沈積過程,從而實現跨多個行業的卓越制造能力。它具有兩個模塊化腔室選項,能夠進行高長寬比縮放以及三維（3D）體系結構。Sabre 3D還具有自動放置過程,可實現較低的擁有成本和最小的維護需求。通過先進的硬件和軟件優化，反應堆確保了生產級和研究級應用所需的高質量性能、可重復性和可靠性。LAM RESEARCH Sabre 3D的主要特點包括其優越的蝕刻精度和重叠控制，堅固的沈積速度和良好的均勻性，以及多用途的材料兼容性。其模塊化的腔室選項、自動沈積過程和先進的硬件/軟件優化進一步增強了其上市時間。為了提高蝕刻精度，反應器利用新的射頻磁場和各向同性、對稱的蝕刻剖面來提高工藝的可重復性。對於沈積速度和均勻性，Sabre 3D允許較高的薄膜生長速率和具有突出平面化特性的保形薄膜。整個系統經過優化，以實現最佳使用，使出色的蝕刻和沈積過程能夠在較短的時間內完成，並具有極好的均勻性。此外,其硬件組件被設計為一個集成單元,提供了簡化的性能和易用性。它利用三氣註入能力，比雙氣系統效率更高。此外,LAM RESEARCH Sabre 3D還具有動態壓力和溫度控制功能,使反應堆能夠在廣泛的操作環境中運行,同時仍能獲得最高的精度和可重復性。從材料兼容性的角度來看,Sabre 3D非常適合基於抵抗的蝕刻和沈積,並且針對控制臨界尺寸（CD）、特征均勻性和膠片覆蓋範圍進行了優化。該反應器還可用於其他薄膜，如電介質、導體和絕緣體，使其適合廣泛的應用。綜上所述，LAM RESEARCH Sabre 3D是一種先進的反應堆，旨在實現突破性的蝕刻和沈積過程。它具有模塊化腔室和先進的硬件/軟件優化兩種選擇，具有出色的蝕刻精度和重叠控制以及較高的沈積速度和均勻性。其出色的材料兼容性以及動態壓力和溫度控制使反應堆能夠在各種操作環境中運行,從而實現最高精度和可重復性,並且其自動沈積工藝能夠以最小的維護需求實現高速制造。