二手 LAM RESEARCH SOLA #9312000 待售

LAM RESEARCH SOLA是一種最先進的反應堆技術，旨在最大限度地提高半導體生產性能和器件產量。SOLA技術是一種等離子體增強CVD （PECVD）沈積設備，提供卓越的均勻性、重復性和沈積速率控制。該系統能夠在低壓下運行，以實現高質量的薄膜具有卓越的保形性和步進覆蓋率。該裝置利用四個獨立控制的氣源進行各種沈積構型。結合了一種先進的定時機器，用於所有反應物之間的精確同步，這有助於控制薄膜的生長輪廓。該工藝室還可以配置一系列附件，如均勻氣體分配的淋浴頭或一系列噴射模塊，以允許高精度目標和源氣體劑量。該工具還具有先進的熱控制資產,能夠快速加熱/冷卻,同時保持低溫均勻性。這有助於從可靠的沈積工藝配方中獲得高收率,而不會產生不必要的熱應力。熱控制模型采用紅外加熱器、渦輪分子泵、冷陰極的組合來管理工藝環境。此外，設備還配備了許多安全和監測系統，以確保對工藝參數的最佳控制，並保護人員免受潛在危害。該系統包括泄漏探測器、聯鎖裝置和一系列過程控制警報，有助於維持可靠的過程控制和監測單元運行。總體而言,LAM RESEARCH SOLA是最先進的可靠和可重復的技術,提供卓越的均勻性、沈積率控制和薄膜質量。由於性能優越，SOLA適用於從光電子到特種化學品等廣泛行業的應用。