二手 LAM RESEARCH SOLA #9314232 待售

LAM RESEARCH SOLA反應器是一種先進的、最先進的、靈活的、基於等離子體的原子級材料沈積工具。它主要是為各種半導體和表面工程應用而設計的，如薄膜沈積、靜電濺射和超薄膜沈積。該工具采用非激活雙源雙電極等離子體（NADSPL）架構，允許非常薄的膜（通常小於0.01超納米）的高精度和可重復的沈積。在基於NADSPL的SOLA中，使用兩個獨立的射頻源生成兩個不同的等離子體源；一個用於主要沈積過程，一個用於蝕刻工件。LAM RESEARCH SOLA的設計提供了單一封裝的單反應堆雙等離子體功能，允許顯著的過程吞吐量增加。SOLA還提供高級電離控制以及一系列多功率和多位置等離子體源。多電源允許優化整個基板上的晶圓輪廓,而多位置電源允許在沈積過程中精確控制工藝條件。LAM RESEARCH SOLA配備了最新技術，包括種類繁多的專用傳感器、多傳感器溫度控制以及目前可用的最高精度編碼器設備。該系統能夠將材料精確地放置在工藝室內,以便於創建符合高質量和性能標準的產品。SOLA還配備了一個先進的裝置，用於減輕環境中的顆粒汙染。該機器包括粒子陷阱、過濾器和控制過程氣體組成的系統。這確保了該過程對操作員和生產的最終產品都是安全的。總體而言，LAM RESEARCH SOLA工具是一種先進的工具，用於沈積薄膜和其他復雜的原子尺度材料。它采用了一系列改進產品質量、降低過程成本和盡量減少浪費時間的先進技術。