二手 LAM RESEARCH STRATA-GX #293654487 待售
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ID: 293654487
晶圓大小: 12"
優質的: 2016
CVD System, 12"
EFEM
Gas box
AC Rack
Monitor
2016 vintage.
LAM RESEARCH STRATA-GX是一種下一代反應堆，設計用於半導體等先進材料的等離子體加工應用。反應堆是串聯室類型，允許精確控制等離子體的產生和加工條件。第一室是一系列先進推進器的所在地，包括離子源、中和器和中性束；這些組件使高密度等離子體的生產具有令人欽佩的功率效率。第二個腔室包含初級工藝組件，如電極、墻壁、屏蔽以及蝕刻或沈積目標。STRATA-GX反應堆設計具有用戶友好的自動化和過程控制，目的是提供盡可能高的性能和安全水平。所有必要的組件，如終端效應器、傳感器和分析儀，都集成到反應堆中，以確保最佳性能。先進的過程控制算法能夠對過程參數進行精確的實時調整，最大限度地提高精度和重復性。LAM RESEARCH STRATA-GX反應堆還具有確保等離子體工藝質量的先進診斷功能。系統集成了束電流監測、等離子體電子溫度測量、化學成分分析、基板表面成像等一系列診斷，以進行全面的工藝洞察。STRATA-GX反應堆也廣泛考慮了安全性。反應堆配備了多種安全特性，如溫度限制、腔室壓力監測、等離子體危險安全殼等。此外，反應堆還配備了一系列復雜的安全協議，以探測和應對任何潛在風險。LAM RESEARCH STRATA-GX反應堆是眾多半導體和先進材料加工應用的理想系統，提供先進的工藝能力、準確的工藝監控和診斷，以及全面的安全功能。這種可靠、現場驗證的系統為要求最苛刻的應用提供了成功的等離子體處理結果。
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