二手 LAM RESEARCH Striker #293616563 待售

LAM RESEARCH Striker是一種感應耦合等離子體（ICP）反應堆，允許用戶制造尺寸約100納米的復雜納米級結構。Striker反應堆是一種單晶片設備，結合了先進的技術、可靠的硬件和直觀的軟件控制，創造了一個用戶友好的設備。這種反應堆利用一種特殊類型的等離子體，稱為感應耦合等離子體（ICP），當磁場施加到反應堆中的氣體和電子被激發時產生。ICP等離子體對100 nm以下特征的制造非常有效和有益。LAM RESEARCH Striker Reactor中所使用的氣體通常是氙氣，但也可以使用其他氣體。這座反應堆還利用了恩杜拉，這是一個先進的控制系統，旨在簡化操作。Striker占地面積小，適合實驗室環境。該裝置是為優化沈積均勻性和顆粒沈積而設計的。LAM RESEARCH Striker機還提供底物清洗和低壓底物轟擊，然後再進行反應性離子蝕刻（RIE）加工。Striker的加工室被密封，並連接到可重復射頻（RF）發生器。這臺發電機產生一個振蕩的電磁場，負責激發室內的電子。等離子體的產生還要求室內保持低水平的真空，使內部氣體密度恰到好處。LAM RESEARCH Striker工具還有一個基板卡盤，可以在控制資產的控制下加熱或冷卻，以確保更好的膜均勻性。它還有一個多核數據采集模型，使監測過程參數更加容易。該設備還具有自動晶片提升裝置，便於晶片加載。總體而言，Striker Reactor by LAM RESEARCH是一種可靠且用戶友好的設備，提供制造納米級結構所需的能力。它利用先進的ICP技術，擁有必要的硬件和軟件，使用戶體驗盡可能直觀和簡單。對於那些希望制造復雜納米級結構的人來說，這是一個很好的選擇。