二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Exim #293609622 待售

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON EXIM是一種反應器，特別是一種化學氣相沈積（CVD）工具，用於開發電子元件和材料。該反應堆設計為提供高純度的工藝室環境，廣泛的工藝範圍和精確的工藝控制。MRC Exim反應堆主要用於制造半導體晶圓和平板顯示器。TEL Exim反應堆系列由XE100、XE200和XE300三種類型的機器組成，每種機器設計為提供不同的功能。該XE100本質上是一個單一的晶片工具,是一個經濟但用途廣泛的平臺,提供多種批處理功能。該XE200稍微復雜一些，設計用於高性能的單晶片應用，如腐蝕和沈積復合氧化物。最後，XE300模型是三者中最先進的，提供了與MRC過程控制系統的集成和全批處理能力。TOKYO ELECTRON EXIM反應堆主要由不銹鋼構成，符合健壯半導體制造環境的要求。設計包括一個用於晶片的插入和加工的加工室，以及用於產生等離子體、註入化學品、加熱元件和排出副產品的端口。此外，還有一些安全特征，用於保護人員免受過程中產生的任何有害材料和蒸氣的影響。該反應堆設計用於支持一系列工藝參數，包括快速熱退火、MOCVD、PECVD、蝕刻和光生產工藝。這些過程是通過以氣態形式引入必要的化學前體來實現的，然後可以快速加熱並激活，形成所需的產物。通過對溫度、壓力以及室內各種氣體環境的精確操縱，可以開發出難以置信的精確和可重復的電子元件和材料。Exim系列反應堆是一種高度靈活和堅固的工具，可用於制造高度精確和可靠的電子元件和材料。通過其廣泛的工藝能力和精確的工藝控制，這座反應堆是任何現代半導體制造設施的寶貴工具。