二手 NAURA / AKRION iTOPS A230 #293639722 待售

NAURA/AKRION iTOPS A230是一種電感耦合等離子體（ICP）反應堆，用於微電子過程。這種反應器是一種高性能、技術先進的裝置，能夠沈積微結構、薄膜和高寬高比孔。是生產先進納米材料和半導體制造的理想解決方案。NAURA iTOPS A230通過向電磁線圈施加高頻交流電來運作，電磁線圈產生具有磁矩的多極感應場。該場產生目標材料的局部加熱，誘導一個稱為電離的過程。在這個過程中，磁場導致目標材料中的電子繞著原子核運行，當材料加熱到高溫時，電子就會脫離並形成電離粒子。這些離子化的粒子隨後可以與室內的其他粒子發生反應，並利用磁場進行操縱，以沈積所需的微結構、薄膜或孔的模式。除了強大的多極感應場之外，AKRION iTOPS A230融合了獨特的源氣體輸送系統。該系統控制反應室內使用的氣體壓力和流量，使沈積的精確參數得以優化。這種精確度對於保持電影性能的最高質量至關重要。此外,iTOPS A230能夠容納多種工具配置,從而使用戶在生產過程中獲得最大的靈活性。為方便用戶,NAURA/AKRION iTOPS A230具有廣泛的安全功能。電機和聯鎖裝置可防止操作員在更換部件時訪問帶電部件,並且紫外線和電源監控系統可確保操作過程中的安全。此外，反應堆在每次運行後都會自動冷卻，從而提供更多的防止汙染的保護。NAURA iTOPS A230是一個可靠和先進的ICP反應堆，專門為制造先進的納米材料、薄膜和微結構而設計。強大的多極感應場、源氣輸送系統、內置的安全功能和可定制的工具配置為用戶提供了生產優質產品所需的精確度和靈活性。