二手 NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 #9358479 待售

NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550是一個設計用於協助半導體材料加工的反應堆。這是通過將多源氣體與周圍氣體的受控流動結合起來，形成所需的膜沈積等離子體條件來實現的。NAURA EPEE 550能夠控制周圍氣體的壓力、溫度和流量以及用於薄膜沈積的源氣體的組成。反應堆還具有發射活化氣體的能力，以協助更積極的沈積速率要求。AKRION EPEE 550由一個裝有運行所需硬件的真空室組成。室中包括一個外部氣體控制系統，用於混合、控制和觀察氣體流入室中的情況。該腔室配備在0-30 mTorr之間調節氣體壓力。腔室內的熱電偶向控制器提供反饋，允許精確控制腔室溫度。外部氣體控制系統進入4條獨立的氣線，能夠混合多達5種不同的氣體。這就為各種沈積過程提供了廣泛的氣體組合。最後，一個高頻發生器也包括在腔室和允許激活和操縱等離子體條件。NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550不僅為半導體材料的加工提供了一個高質量的解決方案，而且在實際的薄膜沈積過程中提供了大量的可重復性。這是通過腔室在整個過程中持續控制腔室溫度、壓力和氣體成分的能力來實現的。此外，EPEE 550還包括一個氨源，允許進行更具侵略性的8nm沈積過程。最後，NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550是一個旨在協助半導體材料加工的反應堆。其控制周圍氣體壓力、溫度、流量的能力，以及薄膜沈積源氣體的組成，與實際沈積過程提供了高度的重復性。此外,高頻發生器允許執行更嚴格的薄膜沈積過程。這使得NAURA EPEE 550成為半導體加工的理想解決方案。