二手 NOVELLUS 02-134264-00 #293663402 待售

NOVELLUS 02-134264-00 Reactor是為高性能蝕刻沈積應用而設計的最先進的等離子體處理設備。這種先進的反應堆利用超高功率等離子體源和動態過程控制，使其適用於廣泛的底物和材料。02-134264-00反應堆具有集成的等離子體控制平臺，允許精確的原位過程監控。該平臺監控多種等離子體參數，如離子電流、射頻功率、源溫度、反應物分布等，以確保一致的蝕刻沈積操作。為了進一步促進流程優化，控制平臺可以生成用戶定義的實時報告功能。在底物相容性方面，NOVELLUS 02-134264-00 Reactor能夠在廣泛的表面蝕刻沈積，包括金屬、氧化物、氮化物和復合材料。該系統的動態功率範圍可確保在各種表面和基板上進行可靠的蝕刻和沈積。02-134264-00反應堆還配備了先進的安全特性。其集成過程安全單元監控反應堆的溫度、壓力和功率水平，以確保保持可靠和安全的等離子體處理操作。此外，反應堆經過UL認證，確保符合所有安全要求。NOVELLUS 02-134264-00反應堆的物理設計采用高精度微型徑向氣體分配網絡。這種高效的分配網絡確保了等離子體負載在整個腔室中的正確分配，以獲得最佳的性能和可靠性。反應堆還采用模塊化結構，占地面積小，便於安裝維護。綜上所述，02-134264-00反應堆是為蝕刻沈積應用而設計的先進等離子體加工機。其集成的等離子體控制平臺確保了精確的現場過程監測。其基板兼容性和動態功率範圍允許在各種材料上進行可靠的蝕刻和沈積操作。反應堆還配備了先進的安全特性，為等離子體加工作業提供最佳安全。最後，其高精度的徑向氣體分配網絡和較小的占地面積使這一單元易於安裝和維護。