二手 NOVELLUS 02-267288-00 #293657512 待售

NOVELLUS 02-267288-00是半導體工業在蝕刻過程中使用的反應堆。這類反應堆特別設計為通過蝕刻區域提供具有均勻性和可重復性的快速和精確蝕刻速率。02-267288-00反應堆用於去除沈積物料，以及在基板上放置精確的設計圖案。反應堆是一個四切面的機器，包括了鎖載室、填充室、等離子室和排氣室。鎖載室將底物加載並卸載到等離子體蝕刻過程的位置。填充室用指定的蝕刻氣體填充等離子體室，並進行精確的體積控制，以確保適當的均勻性和過程的可重復性。等離子體腔在高壓超冷環境下運行，提供高均勻度蝕刻速率。排氣室內裝有專門的排氣擋板，用以將等離子體沈積在室內。NOVELLUS 02-267288-00反應堆能夠處理廣泛的底物，包括矽基、金屬基、氮化物和其他材料。反應堆還能夠精確處理具有盲或埋藏特征的底物。這樣可以確保設計模式得以保留,並在基板的所有區域中保持精確的蝕刻速率。反應堆利用高頻動力補給產生交替電磁場，產生等離子體。然後使用此等離子體以所需的精確蝕刻速率蝕刻基板。該反應堆的設計能夠精確地蝕刻到納米級，從而能夠清潔和可重復地去除材料。為了保持對蝕刻過程的精確控制，02-267288-00反應堆還能夠監測溫度、壓力、射頻功率等關鍵參數。反應堆還可以檢測過程異常，如等離子體不穩定性或化學失衡。在過程異常的情況下，反應堆可以采取糾正措施，以確保穩定和均勻的蝕刻速率。總體而言，NOVELLUS 02-267288-00反應堆是用於半導體蝕刻工藝的可靠而堅固的工具。均勻的蝕刻速率和精確的設計模式控制確保了設計模式的高可靠性。該反應堆能夠以納米級精度精確蝕刻，能夠檢測任何工藝異常，以便迅速采取糾正措施。