二手 NOVELLUS Altus #9261397 待售

NOVELLUS Altus是由NOVELLUS開發的下一代、先進的高壓化學氣相沈積（HPCVD）反應器。它是第一個將HPCVD的薄膜沈積工藝帶到20個以上大氣的超高壓環境中的設備。這一革命性的技術使得高質量、均質的薄膜具有優越的附著力、優良的質量控制和低汙染的沈積。Altus是一個多室系統，意味著它具有一個主室和一個原位處理室，支持三個獨立的氣體輸送系統進行沈積、清潔和退火。它還提供了一個創新的高壓沈積模塊，可精確控制工藝條件，從壓力和溫度到氣流和混合。NOVELLUS Altus中的沈積過程可以針對各類材料量身定制。它是高效的，並確保層厚度在基板上的均勻分布。此外,它還具有低汙染水平,導致產品質量優良,缺陷最小。Altus是一個非常通用的單元，可用於平板顯示器、半導體芯片、數據存儲設備等廣泛的薄膜沈積應用。它還被設計為節能，具有能源循環過濾、氣體霧化、低壓CO2清除以及為節約能源而設計的閥門等特點。NOVELLUS Altus機器非常人性化，操作方便。它采用安全和易於使用的維護流程,其直觀的用戶界面可確保快速操作和設置,從而減少停機時間。總體而言，Altus是先進的HPCVD反應堆，為廣泛的薄膜應用提供了出色的均勻性、低汙染和超高壓沈積能力。它是一種高效、通用、用戶友好的工具,可提供卓越的性能和卓越的薄膜。