二手 NOVELLUS Altus #9261414 待售

NOVELLUS Altus是一款高性能的下一代沈積塗層，專為先進的材料沈積和蝕刻工藝而設計。它采用獨特的高級體系結構設計,提供超高的材料沈積速率和卓越的工藝控制。Altus平臺設計用於制造FinFET、MEMS、3D NAND和其他復雜結構。NOVELLUS Altus可以沈積和圖案層，具有高膜厚均勻性，以及具有高精度和重復性的蝕刻特性。Altus設備結合了硬件和軟件，提供精確的材料參數，優越的工藝控制，以及出色的統一性。該系統具有光刻和蝕刻硬件以及高級沈積模塊。它采用了一種創新的雙級順序反應堆設計，利用旋轉和線性機制，允許線圈高速旋轉。這提供了對沈積過程的高度控制，同時允許更大的材料特性均勻性。該單元還可以配置用於各種膠片類型，包括保形、重新濺射和陰影。它采用獨特的兩步測量工藝，提供真正準確的薄膜厚度均勻性。此外，保形沈積步驟允許創建具有精細控制特征大小的三維形狀。NOVELLUS Altus平臺還配備了快速、精確的對準機，用於精確的膠片配準，以及專有的高級架構沈積船，可實現卓越的塗層均勻性。它還具有高速的薄膜吞吐量能力，這樣即使是大的層也能得到快速準確的處理。除了硬件組件，Altus工具使用專有軟件來控制沈積過程。該軟件具有用於自動pellicle loading、smart pump-down optimization、feature registration和許多其他功能的選項,這些功能都是根據每個特定過程的要求量身定制的。NOVELLUS Altus是一款革命性的產品,它為用戶提供高精度、高通量、高均勻性沈積和蝕刻過程的強大功能。其先進的體系結構使它能夠處理制造最先進的電子產品的各種過程。