二手 NOVELLUS C2-CVDD Concept 2 #293648738 待售

NOVELLUS Concept 2 CVDD（化學氣相沈積）反應器是一種最先進的多室化學氣相沈積設備，設計用於以高速率、高均勻性沈積薄膜。該系統采用獨特的腔室設計，實現了快速沈積速率和低溫操作範圍，使較厚的薄膜能夠沈積。Concept 2 CVDD單元由一個負載鎖定室和一個晶圓傳遞室組成，用於將工藝晶圓送入和送出沈積工藝室。鎖載室也用於直接晶片裝卸，意味著不需要手動裝卸。這有助於減少汙染並使CVDD機器更易於使用。沈積過程室是由氣體預混合室、沈積室和儲氣室組成的多室工具。氣體預混合室用於在進入沈積室前混合前體和惰性載氣。通過預混合前體，這一過程有助於確保沈積過程的均勻性。沈積室是進行薄膜實際沈積的地方。該腔室設計為在低溫下工作，通常在500C左右，以便能夠沈積較厚的薄膜。儲氣室用於在所需壓力和溫度下儲存氣體。這有助於減少操作過程中使用的氣體量。整個CVDD資產由計算機模型控制，用於管理沈積過程和監控結果。NOVELLUS Concept 2 CVDD設備是一種可靠且可重復的工藝，用於廣泛的工業和研究應用。該系統能夠沈積厚度在10nm至500 nm之間的薄膜。此外,此單元還可以根據應用程序沈積透明、反射和不透明的薄膜。NOVELLUS Concept 2 CVDD機是一種可靠且用途廣泛的薄膜沈積工具。