二手 NOVELLUS C2-Sabre #293634852 待售
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NOVELLUS C2-Sabre是一個用於先進半導體加工應用的濕式站。它是一種通用工具，可以用來蝕刻和各向同性清潔廣泛的基材，如矽、玻璃、陶瓷和石英。該工具由一個加工室、一個渦輪泵浦排氣系統以及各種外部泵和閥門組成。該系統還包括斜角控制器、用於樣品處理和分析的電子束源，以及用於控制各腔組件的高分辨率控制系統。C2-Sabre有兩種模式：濕蝕刻和各向同性清潔某些基材。它有兩個主要特點，與其他濕蝕刻系統區別開來：一個是在蝕刻之前使用水性表面活性劑溶液的預清潔工藝，另一個是積極的清潔工藝，即使用活性有機-化學混合物快速清除有害材料。預清潔過程有助於實現均勻的蝕刻輪廓。它是通過將水和表面活性劑的溶液引入到基板上，並用紫外線將其激活而實現的。這有助於打破目標材料和基板表面的表面張力，從而使兩種材料的蝕刻去除更加容易。NOVELLUS C2-Sabre的侵略性清洗過程使用高度侵略性的氫氧化銨和過氧化氫混合物，連同某些添加劑，從底物中剝離和剝離表面材料。這是通過利用等離子體輔助化學蝕刻（PACE）實現的，其中化學劑的反應是由低壓步進電場引起的。PACE有助於提高化學反應速率，從而加快目標材料的蝕刻速率。C2-Sabre的電子束源允許對各種底物和表面進行分析、表征和修復。光束根據基板的特性進行調整，以提供一系列掃描，這些掃描捕獲與表面地形、薄膜形態和任何其他表面特定特性有關的信息。此外，電子束產生的加熱可用於蒸發、回流和重新合金背景材料，從而消除誤差，改變電路，而無需任何機械幹預。NOVELLUS C2-Sabre是一種高度可靠的工具,具有強大的軟件和硬件組件。它在半導體器件制造的許多步驟中提供了靈活性和準確性。它提供了出色的產量、快速的吞吐量和較低的運營成本,使其成為高級流程應用程序的理想選擇。
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