二手 NOVELLUS C3 WTS #9240252 待售
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NOVELLUS C3 WTS是一種高性能熱處理反應堆，能夠經濟高效地生產最新的微電子器件。它是一個先進的熱處理反應堆，可以提供高達同級其它反應堆吞吐量和質量的三倍。C3 WTS的腔室容積超過3立方英尺，能夠將基板快速熱處理至高達900 °C的溫度。它以垂直多區氣流設備為基礎，利用高速氮氣保證精確的溫度控制。NOVELLUS C3 WTS結合了先進的溫度控制系統，帶有閉環反饋單元和多個氣流限制機，允許精確的溫度區分割。它的陶瓷腔室襯裏耐用性強，能承受長期暴露在廣泛的溫度範圍內。集成絕緣材料的設計目的是盡量減少熱量損失，確保高效的工藝操作和穩定的溫度。C3 WTS還采用了先進的過程控制技術，包括一系列傳感器來監測和實現預測性維護操作。該反應堆還包括自動清洗、數據收集、趨勢分析、周期優化和樣品跟蹤等功能。反應堆配備了先進的工藝控制，以實現精確的溫度控制和均勻性。這確保了在NOVELLUS C3 WTS中處理的所有基材的性能和可重復性。它還采用了先進的數字溫度控制器，旨在提供準確和穩定的性能。總體而言，C3 WTS是一種高性能的熱處理反應堆，旨在高效率和經濟高效地生產最新的微電子器件。其先進的溫度控制工具可確保精確的溫度控制和均勻性,而其集成的傳感器可實現預測性維護操作和長期耐用性。NOVELLUS C3 WTS具有可靠的性能、高效的操作和多種過程控制功能,是任何現代微電子處理設施的寶貴資產。
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