二手 NOVELLUS Chambers for Inova #9282131 待售

NOVELLUS Chambers for Inova是一個為處理先進材料而設計的反應堆。這個反應堆是一個PECVD室，用330 MHz，8 kW感應等離子體發生器建造。它有一個66厘米深的圓柱形腔室和一個頂板，設計用來容納壓力範圍為0.3-0.7 Torr的HF等離子體。該腔室非常適合在高溫下需要高沈積率和均勻性的織物。反應堆能夠達到從20°C到1100°C的大範圍溫度，這使得在這個腔室中可以運行各種各樣的過程。Chambers for Inova的核心是感應等離子體發生器，它是腔室可靠運行的關鍵部件。等離子體發生器采用多通道變壓器，將交流電源轉換為直流電源，以提高等離子體的可靠性和功率。交流電流隨後通過多個線圈，產生電場產生等離子體。這種設備的設計具有功率和帶寬，以確保等離子體在沈積過程中保持一致。該室還擁有一個動態控制系統，旨在監測和控制等離子體參數，以確保室內的均勻性。控制單元監測等離子體發生器內的通道電位水平，以及監測腔內的壓力。此外，控制機器還能夠調整等離子體的功率，以盡量減少對正在加工的材料造成損壞的風險。NOVELLUS Chambers for Inova的設計效率很高，因為它能夠在低至20°C的溫度下實現高沈積速率。此外，該室能夠在較大的表面積上實現均勻的沈積速率，而且沈積速率誤差非常低。該反應堆由於精度高、效率高，是制造高性能先進材料的理想選擇。