二手 NOVELLUS Chambers for Inova #9355346 待售

NOVELLUS Chambers for Inova是一個先進的過程反應堆，對輸入和輸出參數提供精確、可重復的控制。該反應堆使用戶能夠以最小的變化準確、一致地獲得所需的結果。它非常適合生產電子工業中使用的材料和元件，如半導體、微電子和光子學，以及其他多種先進材料。Inova室由兩個室組成：真空室和反作用室.真空室用於降低工藝材料的壓力，而反應室則用於混合和反應材料。兩個腔室均具有氣體和溫度調節功能,可精確控制化學反應。此外，反應室具有先進的流速和溫度監測能力，使配方得以精確調校。NOVELLUS Chambers for Inova還包括一個集成的電容傳感器，提供膜厚度和剩余時間的實時反饋。此功能可幫助用戶監控和優化沈積過程,以獲得一致的產量和結果。Inova的Chambers設計易於使用和維護。它具有完全集成的控制系統,具有用戶友好的圖形界面和板載配方創建工具。這簡化了定制食譜的開發，有助於減少新設備用戶之間常見的學習曲線。NOVELLUS Chambers for Inova還具有先進的安全功能，如壓力釋放閥和緊急關閉系統。這些功能使用戶能夠安全地使用潛在危險材料,從而降低發生事故或受傷的風險。總體而言，Chambers for Inova提供了一個強大而高效的過程反應堆，使用戶可以對其過程進行特殊控制。這個腔室非常適合實驗和生產最先進的材料和部件，同時也確保用戶擁有安全舒適的工作環境。