二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 #9093689 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2反應堆是一種化學氣相沈積（CVD）反應堆設備，用於覆蓋半導體器件表面。這種CVD反應器專為20nm及以下的工藝幾何形狀而設計，使其成為高級內存和邏輯設備功能開發的理想選擇。Altus 2反應堆的獨特設計確保了所有沈積需要的最佳結果。Altus 2反應堆采用線性機器人運動系統。該運動單元允許快速地精確沈積材料。加速直線運動機與高效氣體輸送工具耦合。這一資產提供了快速的氣體流向反應堆表面，從而實現了快速、準確的沈積。Altus 2反應堆能夠同時進行多次沈積。它具有雙源功能，可同時實現介電和金屬沈積，或同時實現幾種不同的材料沈積。這使得沈積任務能夠快速周轉，生產周轉時間更短。Altus 2反應堆先進的工藝控制模型確保在嚴格的公差範圍內不間斷沈積。該設備可以儲存幾種配方，可以很容易地召回快速的過程變化。Altus 2反應堆的內置「清潔和安全」特性確保任何工藝變化都不會汙染或損壞反應堆的傳感器和其他部件。對Altus 2反應器的獨特設計進行了優化，以達到最大性能和沈積均勻性。獲得專利的均勻氣體輸送系統可確保任何基板尺寸或形狀均勻。Altus 2反應堆的三區加熱機制最大程度地減少了熱損傷，並確保了對基板的均勻處理結果。Altus 2反應堆設計具有先進的用戶安全特性。Altus 2反應堆的機載監控系統可以檢測到任何潛在的安全問題並向用戶發出警報，從而能夠快速解決。工藝室設計可防止泄漏，確保反應堆安全運行的無氧環境。整體CONCEPT 2 Altus 2反應堆是專門為半導體器件設計的先進CVD反應堆單元。Altus 2反應堆以其獨特的線性機器人運動機器、高效的氣體輸送工具和先進的過程控制資產，是一種可靠、準確的設備，可以滿足任何沈積需要。