二手 NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink #293777488 待售

NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink是一種最先進的等離子體增強超高真空沈積反應器，旨在為半導體行業提供精確的薄膜沈積能力。它是一種高度先進的設備，包括腔室、波紋管、腔室阻尼、波紋管阻尼、快速粗糙的螺距電阻驅動器和冷卻組件。該室是一種用於反應性氣體沈積的超高真空環境，配備了所有必要的真空泵和隔離閥。它連接到升降機系統、蓋子、快速俯仰驅動器和風箱，以便氣體進入。腔室內部塗有納米陶瓷絕緣體，以提高機組壽命，保持高能效。一個大的石英窗口可以在沈積過程中目視檢查基板。機器的核心是一個快速俯仰驅動器，它允許精確的速度控制和更高的吞吐量，具有多種電源配置。集成的高頻匹配網絡增加了沈積均勻性，減少了浪費。波紋管的設計使薄膜層的應力和變形最小化，阻尼波紋管在沈積過程中提供更大的保護。概念2 Altus Shrink具有高沈降銅沈積能力,具有優化的直通速度和先進的精細間距控制,以及高達5 MHz的最大基頻速率。反應堆的精細螺距控制確保了均勻性並增加了吞吐量，同時使重型銅層的沈積速率比以往任何時候都要高。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink也是高度過程穩定的，允許在底物上精確的薄膜沈積。冷卻組件利用多種液體冷卻套和精密熱電偶來維持沈積的最佳溫度。這樣可以最大程度地減少側壁侵蝕並延長薄膜層的使用壽命,從而進一步提高刀具的能效。概念2 Altus Shrink是一種超高真空沈積反應器,通過其先進的技術、腔室設計和冷卻組件提供精確的薄膜沈積和更高的能源效率。其快速的螺距驅動和波紋管阻尼使得高密度銅沈積具有均勻性和增加的通量，使其成為半導體工業中最理想的選擇。